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一种热稳定处理回收系统,涉及单晶生长技术领域,包括生长炉,生长炉包括炉壳体、加热器和保温层,炉壳体内设置有齿圈、驱动齿轮和连接杆,齿圈位于炉壳体的内侧,驱动齿轮不少于三个,驱动齿轮位于炉壳体与保温层之间,驱动齿轮与齿圈啮合,驱动齿轮间接的安装在炉壳体上,驱动齿轮的转动带动着齿圈转动,保温层包括内保温套和外保温套,外保温套在周向上均匀分成多个弧形的保温条,连接杆的一端与保温条的背部铰接,连接杆的另一端与齿圈铰接;炉壳体为双层中空式结构,炉壳体的下端为冷却液入口管,上端为冷却液出口管,冷却液入口管上
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117737822A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311823448.9
(22)申请日2024.01.16
(71)申请人大庆溢泰半导体材
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