- 1、本文档共13页,其中可免费阅读12页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供冷泵及半导体加工设备,涉及半导体加工技术领域。本申请提供的冷泵用于对反应腔室抽真空,包括泵体和加热装置,反应腔室的排气口与泵体的内腔连通;加热装置包括至少一个加热组件,加热组件包括加热套和通气管道,加热套设有安装腔,通气管道设置于安装腔内,通气管道的出气口与泵体的内腔连通,通气管道的进气口用于连通气源,以向通气管道内通入气体;在加热套的横截面上,加热套包括沿背离安装腔方向依次设置的内层、加热线、保温层和外层,加热线能够导电发热。本申请通过通气管道安装于加热套的安装腔内,通气管道内的气体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117703711A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311675063.2
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人厦门天马光电子有
您可能关注的文档
- 一种塞棒全自动生产设备.pdf
- 制造食品的方法.pdf
- 一种皮带机综合保护装置用外置地址编码器.pdf
- 无菌实验室微型全自动轧盖机.pdf
- 碱性水电解制氢系统的控制方法、装置和电子设备.pdf
- 一种高熔点同位素核靶安装底座及其安装方法.pdf
- 一种特种箱用水性无锌车间底漆及其制备方法.pdf
- 一种导热膜及其制备方法.pdf
- 反渗透装置和方法.pdf
- 基于群签名和Bulletproofs的高效联盟链隐私保护方法及系统.pdf
- 2024年中国钽材市场调查研究报告.docx
- 2024年中国不锈钢清洗车市场调查研究报告.docx
- 2024年中国分类垃圾箱市场调查研究报告.docx
- 2024年中国水气电磁阀市场调查研究报告.docx
- 2024年中国绿藻片市场调查研究报告.docx
- 2010-2023历年初中毕业升学考试(青海西宁卷)数学(带解析).docx
- 2010-2023历年福建厦门高一下学期质量检测地理卷.docx
- 2010-2023历年初中数学单元提优测试卷公式法(带解析).docx
- 2010-2023历年初中毕业升学考试(山东德州卷)化学(带解析).docx
- 2010-2023历年初中毕业升学考试(四川省泸州卷)化学(带解析).docx
文档评论(0)