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本发明涉及电子显微镜样品制备系统以及方法，制备系统包括样品盒、输送部件、加工部件以及控制单元，样品盒内具有第一腔室，第一腔室用于填入惰性气体，第一腔室内设有第一载座，第一载座上放置样品；加工部件包括沿传送方向按照加工顺序依次设置的切割设备以及镀膜设备，切割设备用于对样品盒中的样品进行研磨，镀膜设备用于对研磨后的样品进行镀膜；通过增设样品盒，以供样品在存放与移动时置于惰性气体所填充的空间内，通过在第二腔室内设置切割设备以及镀膜设备，实现真空状态下对样品的切割操作，在切割完毕后利用镀膜设备对样品进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117705846A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311866087.6
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人闳康科技（厦门）有限公司
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