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本发明公开了一种9N超纯低温氢气纯化装置,包括一备一用两个低温吸附反应器、原料气输入管路、产品气输出管路、液氮输入管路、氮气吹扫管路、废气排出管路、相应的切换阀门和控制系统,产品气输出管路的旁路上连接有再生气输入管路,再生气输入管路和再生塔连通,再生气输入管路上设置有加热器;低温吸附反应器包括内筒、环绕在内筒周向的夹层、置于内筒内部的填料反应管、换热系统,夹层和液氮输入管路连通,填料反应管内部设置有吸附剂,吸附剂由活性炭、氧化铝和沸石混合而成;换热系统用于对原料气进行降温且对产品气进行升温。本发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117695801A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311702160.6
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人大连华邦化学有限公司
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