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本申请涉及一种电感结构及其制备方法,包括:提供衬底;于衬底上形成第一电感部,第一电感部包括第一导电条及第二导电条,第一导电条与第二导电条间隔设置;于第一导电条上表面形成第二电感部,第二电感部包括至少两个导电柱,且于第二导电条上表面形成第三电感部,第三电感部包括至少两个导电柱;形成第四电感部,第四电感部覆盖第二电感部的一个导电柱的顶面及第三电感部的一个导电柱的顶面,且第一电感部、第二电感部、第三电感部以及第四电感部形成立体螺旋电感线圈。本申请基于晶圆级工艺,避免了硅基以及玻璃基的使用,使得工艺更加
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117712105A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311564542.7
(22)申请日2023.11.22
(71)申请人江苏卓胜微电子股份有限公司
地址
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