基于电感谐振的高速光电探测器芯片.pdfVIP

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2024-03-16 发布于四川
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基于电感谐振的高速光电探测器芯片.pdf

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本发明涉及一种基于电感谐振的高速光电探测器芯片，包括光敏元件以及设置在光敏元件上的正电极和负电极，所述光敏元件包括具有光吸收窗口的光吸收层以及分别与光吸收层的两端连接的下层电极和上层电极，所述下层电极与正电极连接，所述上层电极与负电极之间串联有平面电感。本发明中，通过在光电探测器芯片的光敏元件和负电极之间串联一个平面电感，从而在光电探测器芯片上集成RLC谐振电路；RLC谐振电路在预定频率出现谐振，使光电探测器芯片在该频率的响应出现峰化现象，进而提高了芯片响应带宽，减小了探测器芯片的结电容对频率响

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117712214A

(43)申请公布日2024.03.15

(21)申请号202311684867.9H01L31/0224(2006.01)

(22)申请日2023.1

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