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本发明涉及一种高压增强型氧化镓场效应晶体管及其制作方法,晶体管包括衬底层、缓冲层、沟道层、源极、漏极、栅介质层、栅极、场介质层、第一场板和第二场板。本发明在栅极区域鳍式沟道的基础上,采用多沟道鳍式沟道,即设置了多个鳍栅控制的沟道,多个鳍式沟道的设置在不影响栅极控制能力的基础上,变相增加了沟道的宽度,从而减小栅极区域沟道的导通电阻,提高器件的导通电流。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117712170A
(43)申请公布日2024.03.15
(21)申请号202311705188.5H01L29/10(2006.01)
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