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本发明属于材料技术领域,更具体地,涉及一种用于晶圆沟道填充的复合浆料、制备方法及应用。本发明提供的用于晶圆沟道填充的复合浆料的制备方法,通过采用偶联剂对氮化铝颗粒进行改性,并进行干燥、球磨、过筛,得到改性后的氮化铝颗粒,然后将其与分散剂混匀,随后加入聚酰亚胺溶液,并搅拌混匀,得到用于晶圆沟道填充的复合浆料。本发明提供的复合浆料的固含量高,加热固化过程中体积剩余量高,体积收缩小,适用于晶圆沟道填充。本发明制备的复合浆料能够通过直写成型技术等多种填充方式对晶圆沟道进行填充,且填充效果好,不会出现外溢
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117683457A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311579556.6C09D7/63(2018.01)
(22)申请日2023.11.2
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