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本发明涉及传感器技术领域,提供一种谐振压力传感器及其制造方法,谐振压力传感器包括:封帽层、感压层和谐振音叉组件,所述感压层用于感应输入力的变化,所述感压层连接所述封帽层,所述封帽层和所述感压层之间形成有真空腔室,所述感压层设置有至少两个凸台,所述凸台位于所述真空腔室内;设置在所述真空腔室内,至少两个所述凸台设置在所述谐振音叉组件的相对侧,所述谐振音叉组件用于连接第一外部电路,所述谐振音叉组件包括音叉振梁组件、第一折叠梁和第二折叠梁,所述音叉振梁组件的一端通过所述第一折叠梁连接所述凸台,所述音叉振
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117686132A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311553078.1
(22)申请日2023.11.20
(71)申请人北京晨晶电子有限公司
地址10
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