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多晶炉作业指导书.docx

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    多晶炉作业指导第

    多晶炉作业指导

    第1页共7页

    多晶炉作业指导书

    BY 00206

    作业流程

    作业预备一、目的：

    作业预备

    为正确、标准地操作多晶炉，

    真空泵检查确保生产作业正常， 特制订本标准。

    真空泵检查

    二、范围：

    热区检修与炉室清理适用于DSS450

    热区检修与炉室清理

    硅料装炉三、依据：

    硅料装炉

    DSS450型多晶炉

    抽空检漏使用说明书

    抽空检漏

    自动生产过程晶锭叉取硅锭冷却石墨护板拆卸硅锭入库

    自动生产过程

    晶锭叉取

    硅锭冷却

    石墨护板拆卸

    硅锭入库/交切方处切方

    作业内容

    作业预备

    进入多晶车间须穿戴好

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