垂直耦合光波导器件的设计及研究.docx

中文摘要

集成电路近年来发展迅速，随着加工精度的不断细化，5nm、3nm工艺线不断开发，电互连随着尺寸的降低，带宽受到电学本质的限制。近些年开发并行CPU的概念，其关键是芯片互联的通信容量，光互连因传输延迟小、带宽大、损耗小、功耗低等优点，逐渐成为替代电互联的候选，硅基光互连技术因其与CMOS工艺兼容、尺寸小等优势，成为了光通信和光互连领域中发展的大趋势。对于硅基光子集成芯片而言,一个关键的问题是光信号的输入与输出，垂直耦合是将光信号耦合进/出光子芯片的重要方式，光栅耦合器是垂直耦合的一种不可或缺的器件。

本文对硅基光栅耦合器展开研究，首先分析了垂直耦合的优势，着重介绍了光栅的结构