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本发明公开了一种高耐蚀复合涂层,包括呈周期性交替设置的Me层与Me(O)层,且高耐蚀复合涂层的底层与顶层均为Me层,Me(O)层中固溶有氧,且氧的固溶量为1~25at.%,Me层和Me(O)层中,Me选自Cr、Zr、Ti中的一种,与现有技术相比,本发明通过周期性引入氧气离子刻蚀,钝化界面,形成Me/Me(O)多层结构,在不引入异质元素和异质界面的前提下,打断柱状晶的连续生长,阻断腐蚀离子快速扩散通道,增加了涂层致密度,使涂层呈现高耐蚀特性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117660905A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202311391104.5C23C14/16(2006.01)
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