2023年石英玻璃光掩模基片项目计划设计方案.docx

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石英玻璃光掩模基片项目计划设计方案

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石英玻璃光掩模基片项目计划设计方案

目录

TOC\h\z26970序言 3

30820一、石英玻璃光掩模基片项目文档管理 3

20572(一)、文档编制与审查 3

1057(二)、文档发布与分发 4

5366(三)、文档存档与归档 5

118二、石英玻璃光掩模基片项目土建工程 6

15530(一)、建筑工程设计原则 6

16865(二)、土建工程设计年限及安全等级 8

8952(三)、建筑工程设计总体要求 9

4850(四)、土建工程建设指标 10

6389三、市场分析、调

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