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真空泵及其工作原理介绍

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而

获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、

产生和维持真空的装置。

由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空

泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不

同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需

要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

1、真空泵的种类

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几

升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压

强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才

能满足生产和科学研究过程的要求。

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常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗

茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的

主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业

保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国

真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

2、真空泵的总体结构式与传动方式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构：1)、立式结构：进、排气口

水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性

差，故这种型式多用于小泵；2)、卧式结构：泵的进气口在上，排气口在下。有

时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方

向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端

外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、

中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙

容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑

机构也相对复杂。

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真空泵的传动方式：真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对

同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：

其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过

去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的

扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最

大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及

调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。

所具有的特点：1)、在较宽的压力范围内有较大的抽速；2)、转子具有良好

的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润

滑，摩擦损失小，可大大降低