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本发明提供硅蚀刻液及其制造方法、基板处理方法及硅器件制造方法。本发明提供能在制造半导体器件等时,对硅以高速进行湿式蚀刻的新的药液。本发明的硅蚀刻液,其由碱性水溶液构成,该碱性水溶液在0.05~5mmol/L的范围内包含次卤酸离子,24℃下的pH为12.5以上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117625197A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311102559.0
(22)申请日2023.08.30
(30)优先权数据
2022-136456202
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