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本发明涉及晶圆生产技术领域,并提供了一种晶圆圆心校正方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:读取数据;数据预处理;滤波;获得圆心和初始notch角度;旋转notch到任意角度到生产端;用简便的算法配合线性传感器计算出晶圆的中心,便于生产过程中对晶圆定位,通过读取数据和数据预处理利用晶圆的特性,通过线性传感器集到的数据,具有出色的稳定性,相较于最小二乘圆拟合法,在原始数据波动大的情况下表现更为稳定,以提高晶圆的定位精度,使得校正过程更为可靠。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117637567A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311621733.2
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人深圳市轴心自控技
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