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本发明涉及一种用于氢化物气相外延生长氮化铝的铝舟及使用方法,内筒包括上铝凹槽和下铝凹槽,上铝凹槽和下铝凹槽的底部为网状,下铝凹槽设置在石英筒内底部,在下铝凹槽顶端叠放上铝凹槽;在上铝凹槽和石英顶盖之间设置环形隔板;在上铝凹槽下方和下铝凹槽上方及下铝凹槽下方与石英筒底部之间分别设置台阶隔板;台阶隔板的边沿有台阶;石英顶盖中心的进气管穿过顶部环形隔板的中心孔,石英筒底部的出气管穿过底部台阶隔板的中心孔。本发明铝舟采用分体式可拆卸设计,通过多层隔板结构,提高氯化氢与铝粒的反应概率,增加铝原料的输送效率
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117604627A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311378467.5
(22)申请日2023.10.24
(71)申请人中国电子科技集团
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