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2024-02-28 发布于北京
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一种可拉伸可印刷氧化物晶体管.pdf

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一种可拉伸可印刷氧化物晶体管，设置有褶皱衬底、氧化物半导体层、栅极、源极、漏极和离子胶层；所述褶皱衬底的褶皱方向随机分布并能在各方向上拉伸，且在各方向上的最大拉伸量相同；所述栅极、所述源极和所述漏极由同一层导电薄膜同时制备得到。与现有技术的预拉伸式制备方式造成了只有某些方向可拉伸不同，本发明的褶皱衬底通过非预拉伸制备方法制备得到，可以在各方向在进行拉伸，并在不同方向拉伸下依然保持较好的性能，其控制电压可以达到20mv‑30mv，实现非常低的控制电压，因此本发明的可拉伸可印刷氧化物晶体管的应用前景

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117613099A

(43)申请公布日2024.02.27

(21)申请号202311767079.6

(22)申请日2023.12.21

(71)申请人华南理工大学

地址510000

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