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本发明公开了一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器及其制备方法,包括底盘,所述底盘上设置有若干个压电悬臂梁;每个所述压电悬臂梁上设置有叉指电极;所述压电悬臂梁为上下两层结构,上层为压电材料层,下层为柔性基底材料层。本发明能拓宽单个压电悬臂梁的带宽,且不同固有频率的压电悬臂梁可以放大其共振带宽区间频率的声音且保持良好的频率均匀性,该声传感器能通过共振效应放大所有人发出的声音,并且输出的电压信号不会由于频率特性的不均匀导致与原声信号差异过大;还有压电悬臂梁结构设计成具有梳状的图案化结构,有助于提高压
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117606608A
(43)申请公布日2024.02.27
(21)申请号202311581804.0H10N30/02(2023.01)
(22)申请日2023.11.
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