激光扫描装置以及激光扫描方法.pdfVIP

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激光扫描装置(13)包括第1导光部(20)、多边形镜(30)以及第2导光部(40)。第1导光部(20)反射并引导激光产生器(12)产生的激光。多边形镜(30)具有配置成多边形的反射面,且一边旋转一边以反射面反射通过第1导光部(20)引导的激光。第2导光部(40)进一步反射以多边形镜(30)的反射面反射的激光,且以激光照射在工件(100)上的方式引导激光。第1导光部(20)具备第1柱面透镜(21),该第1柱面透镜(21)以激光在第1方向上的光束直径变小的方式对激光进行聚光。第2导光部(40)具备第

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117616322A

(43)申请公布日2024.02.27

(21)申请号202280048220.4(74)专利代理机构北京市中伦律师事务所

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