GB/T 17874-2021电子特气　三氯化硼.pdf

ICS71.100.20

CCSG86GB

中华人民共和国国家标准

GB/T17874-2021

代替GB/T17874-2010

电子特气三氯化棚

Electronicspecialtygas-Borontrichloride

2021-10-11发2022-05-01施

布

国家市场监督管理总局告士

国家标准化管理委员会保W

GB/T17874-2021

前言

本文件按照GB/T1.12020《标准化工作导则第1部分z标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

本文件代替GB/T17874-2010《电子工业用气体三氯化砌》。与GB/T21287-2007相比，除

结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下z

更改了三氯化砌应符合的技术要求（见第4章，2010年版的第3章h

一一

更改了检验规则的要求（见第5章，2010年版的4.1)

更改了纯度计算方法（见6.1,2010年版的4.2)

一一更改了氧＋氧、氮、一氧化碳、二氧化碳甲烧含量的测定方法（见6.2,2010年版的4.4、4.5)

一一增加了四氯化硅含量的测定方法（见6.2)

一一增加了氯气含量的测定方法（见6.3)

一一增加了碳眈氯、氯化氢含量的测定方法（见6.4)

更改了

金属元素的测定方法（见6.52010年版的4.7)

删除了颗粒的测定（2010年版的4.的g

一一更改了标志、包装、运输及贮存（见第7章，2010年版的第5章）

一一更改了安全信息（见7.3,2010年版的5.2）。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本文件起草单位g大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、

和立气体（上海）有限公司、太和气体（荆州〉有限公司、广东华特气体股份有限公司、海宁市英德赛电子

有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工（嘟嘟）派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品

有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公

司、浙江省化工研究院有限公司、吴华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处

（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限

公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资（上海）有限公司、沈阳中复科金压

力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设

计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。

本文件主要起、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余、

曹素英、宋富财、苏