TFC膜系设计实例教程[教学].doc

TFC膜系设计实例教程[教学]

TFC膜系设计实例教程

TFC膜系实例设计步骤(首先以AR膜三层为例介绍)

1(首选镀膜材料:AL2O3ZRO2MGF2

2(AR膜技术要求:400------700R〈1

3(运行TFC软件(如图1)，选择“取消”按钮，如要打开已设计好的膜系文件，可按“打开”来调用文件。

图14(在File菜单中选择NewCoating选项(如图2)。

图2

5(进入环境编辑界面(EditEnvironment)如图3

图3

6.在环境编辑界面中，第一项为监控波长(Referencewavelength),默认设制为550(图3)。如果设计400-700波段的AR的话，就可以用这个设制。如要设计红外波段的话，那就要改大点。设好后，点击AnalysisParameters….项，进入下一个波段的设制界面(SetAnalysisParameters)。(如图4)

图46(在SetAnalysisParameters界面中选WavelengthsandAngles设计波段范围，在第一个输入框里输入起始波段400，

第二输入框里输入结束波段700，第三个输入框里的为步长，可以不改，其它的不动(如图4)。输入完成后，按

“OK”键确认，返回到如图3的界面，再按“OK”键，进入设计界面(如图5)

图5

7.在Modify菜单中选Layers—Front(如图6)，然后进入添加膜层。(如图7)

图6

图7

7(选择OptionsFrontLayers…..,添加层数，如图7，在弹出的输入框的第一个中输入3代表3层，如图8

图8

8(然后点“OK”，进入，出现如图9的画面。

图9

9(现在把Material(材料)项中的，改成你所要的材料AL2O3ZRO2MGF2，把Optimize?(优化否)项中的NO，全部

改为YES(如图10)

图10

10.选择Modify菜单中的Targets—continuous项来设定优化目标(如图11)

图1111(选择Options中的AddContinuoustargets….(如图12)，点击进入，如果是创建一个优化目标的话

就不用改，如果要创建几个优化目标的话，就在第一个输入框中输入几。如图13

图12

图1312(如图14，在Wavelength(begin)(起始波长)处输入400，在Wavelength(end)(结束波长)处输入700

其它不要动。

图14

13(完成后，选Run菜单的OptimizeDesign选项进行优化，如图15

图1514(优化界面如图16

图1615(优化完成后，点击Analyze查看优化后的曲线，如图17

图17

16(好了，这个AR的膜系已设计完成了，要查看每层的物理厚度，可以打开菜单Modify中选Layers—Front如图18

图18

17(763(4120.0990.83就是我们优化后的厚度了