半导体先进封装设备行业市场前景及投资研究报告：枕戈待旦，蓄势待发.pdf

证券研究报告

行业报告|行业专题研究2024年02月20日

专用设备

半导体先进封装专题：枕戈待旦，蓄势待发！

摘要

封测是半导体产业链重要一环：封装技术分为传统封装和先进封装，两种技术之间不存在明确的替代关系。

✓传统封装：具有性价比高、产品通用性强、使用成本低、应用领域广等优点；

✓先进封装：主要是采用键合互连并利用封装基板来实现的封装技术，应用先进的设计思路和先进的集成工艺，对芯片进行封

装级重构，并且能有效提升系统高功能密度的封装，主要包括倒装芯片封装、晶圆级封装、2.5D封装、3D封装等。根据Yole

预测，全球先进封装市场规模2026年或达482亿美元，2021-2026年的CAGR约8%，将为全球封测市场贡献主要增量。

先进封装四要素：RDL、TSV、Bump、Wafer

✓具备其中任意一个要素都可以称为先进封装；其中在先进封装的四要素中，RDL起着XY平面电气延伸的作用，TSV起着Z轴电气

延伸的作用，Bump起着界面互联和应力缓冲的作用，Wafer则作为集成电路的载体以及RDL和TSV的介质和载体。

晶圆级封装：Fan-inFan-out技术延展

✓晶圆级封装是指晶圆切割前工艺，所有工艺都是在晶圆上进行加工，晶圆级封装五项基本工艺包括光刻（Photolithography）、

溅射（Sputtering）、电镀（Electroplating）、光刻胶去胶（PRStripping）和金属刻蚀（MetalEtching）。

2.5D/3D封装：

✓2.5D封装：集成密度超过2D但达不到3D，先进封装领域特指采用了中介层（interposer）集成方式，中介层目前多采用硅材料

（成熟工艺和高密度互连特性）；高密度互联时，TSV几乎是不可缺少的，中介层TSV被称为2.5TSV。

✓3D封装：指芯片通过TSV直接进行高密度互连，芯片上直接生产的TSV被称为3DTSV。芯片相互靠得很近，延迟会更少，此外互

连长度的缩短，能减少相关寄生效应，使器件以更高频率运行，从而转化为性能改进，并更大程度的降低成本。

相关标的：芯源微（涂胶显影湿法设备键合机），中微公司（刻蚀设备），拓荆科技（键合设备），芯碁微装（直写光刻），华

海清科（CMP），新益昌（固晶机）等。

风险提示：行业技术进步风险、偿债风险、原材料供应及价格变动风险等。

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封装行业：

中国半导体强势环节，先进封装正逢其时

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1.1.封测（封装测试）：半导体产业链不可或缺的环节

封测是半导体产业链重要一环：集成电路产业链可以分为IC设计、晶圆制造（也称前道工艺）、封装测试（也称后道工艺）

三个核心环节，以及EDA/IP、半导体设备、半导体材料等三个支撑环节。集成电路封装测试是集成电路产业链中不可或缺的

环节，一直伴随着集成电路芯片技术的不断发展而变化。

封装主要是指安装集成电路芯片外壳的过程：包括将制备合格的芯片、元件等装配到载体上，采用适当的连接技术形成电气

连接，安装外壳，构成有效组件的整个过程。安装集成电路芯片（元件）的外壳时，可以采用塑料、金属、陶瓷、玻璃等材

料，通过特定的工艺将芯片（元件）包封起来，使得集成电路在工作环境和条件下能稳定、可靠地工作。

半导体封装主要有机械保护、电气