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2024-02-24 发布于四川
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一种磁控溅射靶电极连接装置.pdf

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本发明公开了一种磁控溅射靶电极连接装置，包括上绝缘座、下绝缘座、电极板、接地片、接地座、接地销和弹性件，上绝缘座安装于下绝缘座上，上绝缘座与下绝缘座之间设有线孔，电极板安装于下绝缘座上，其一端与射频同轴电缆的功率线相连，另一端则安装在磁控溅射靶的靶材上，接地片的一端固定于上绝缘座上且与射频同轴电缆的地线相连，另一端则与接地座相连；下绝缘座和电极板上设置有同轴布置的通孔，接地销的一端依次穿过下绝缘座和电极板上的通孔后与接地座的一端相连，接地销与电极板的通孔之间绝缘；弹性件的一端与接地座的另一端相抵

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114959614A

(43)申请公布日2022.08.30

(21)申请号202210697958.5

(22)申请日2022.06.20

(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研

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