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本实用新型公开了一种晶圆贴膜切膜设备,包括固定架、靠刀部和切刀导向部,用于切割的切刀可旋转设置在靠刀部中的刀座固定块上,靠刀部通过过渡块与切刀导向部连接,对切刀走刀路线进行导向的切刀导向部通过连接架设置在固定架上,所述切刀在切刀导向部的作用下沿连接架自由运动。优点,利用设置在上固定板上与晶圆外廓相同的限位块挤压导向轮,使之沿连接板向内运动,进而带动切刀部分按晶圆外廓位移,切刀整体不和晶圆接触,避免了晶圆损坏切刀的情况,同时也实现了切割动态调节使用方便,另外利用设置在刀座上的微型气缸对切刀与胶膜的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220517007U
(45)授权公告日2024.02.23
(21)申请号202322124202.4
(22)申请日2023.08.09
(73)专利权人南京屹立芯创半导体科技有限公
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