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本发明提供热处理装置,提供能够提高热处理的均匀性的技术。本公开的一技术方案的热处理装置具备:处理容器,具有下端开口的有顶的圆筒形状,在内部形成第1空间;盖,封闭下端的开口;支承部,贯穿盖地设置,支承部具有轴部和位于轴部的上部的载置部;晶圆舟,设置在载置部之上,多张基板在上下方向上排列成多层地保持于晶圆舟;划分构件,与载置部的下表面之间空开间隙地设于轴部的周围,划分构件形成相对于第1空间划分而成的第2空间;绝热件,设于第2空间,在处理容器的侧壁的局部设有排气口,间隙具有在处理容器的周向上至少包括设
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117594479A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202310976829.4
(22)申请日2023.08.04
(30)优先权数据
2022-131128202
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