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一种卡盘,包括卡盘表面和分布在卡盘表面上的可伸缩端口组件。每个可伸缩端口组件包括:可连接到吸力源的导管;以及从卡盘表面向远侧延伸的管,该管的远端在与工件接触时形成密封,并且该管在形成密封之后可通过由吸力源施加的吸力而收缩。多个不可伸缩真空端口与多个可伸缩端口组件交替分布。至少一个区域密封部从卡盘表面延伸并界定卡盘表面的包括至少一个不可伸缩真空端口的区域,并且该区域密封部配置成在区域密封部与工件接触时形成气密密封。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117597772A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202280047603.X马尔特·格嫩德罗宁·洛特曼
(22)申请日2022.04
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