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本公开提供了一种适用于真空器件的金属零件处理装置和处理方法,处理装置包括:密封腔室,设置有抽气口;旋转托盘,转动设置在密封腔室内,旋转托盘用于承载待处理的金属零件;电子枪,设置在密封腔室内,电子枪设置在旋转托盘的斜上方,电子枪朝向旋转托盘,电子枪用于发出电子束以对金属零件进行轰击处理;真空泵,与抽气口连接;以及磁场线圈,套设在密封腔室外侧,磁场线圈用于提供磁场以改变电子束的直径。通过旋转托盘能够使得金属零件的各个侧面均匀的被电子束轰击,提高了金属零件的去气效果,降低了金属零件的出气量,配合磁场线
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115305473A
(43)申请公布日2022.11.08
(21)申请号202210841936.1
(22)申请日2022.07.18
(71)申请人中国科学院空天信息创新研究院
地址
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