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一种硅太阳能低氧、低光衰单晶热场.pdfVIP

一种硅太阳能低氧、低光衰单晶热场.pdf

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    本发明公开了一种硅太阳能低氧、低光衰单晶热场，包括拉晶炉的工作腔和设于工作腔内的石墨加热器，石墨加热器采用对应于坩埚中上部的主加热器和对应于坩埚下部的副加热器，主加热器和副加热器分别由两个电源独立控制，在化料阶段，主加热器和副加热器同时开启工作，主加热器和副加热器的功率之比为2：1～3：1，在拉晶阶段，降低主加热器和副加热器的功率，且主加热器的功率大于副加热器的功率，使硅料处于结晶点，由主加热器主要控制整个拉晶时热场温度，使热对流强度减弱，减缓石英埚的反应速度，降低由于石英埚与硅进行化学反应所产

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN106521624A

    (43)申请公布日

    2017.03.22

    (21)申请号20161

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