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本发明涉及密封装置领域，更具体的说是高速往复运动的动密封装置及方法，具体步骤如下：加工件添加至真空仓经过辊压密封机构、调节密封机构、和密封板；通过调节密封机构驱动在密封板内部对加工件进行内部密封；通过辊压调节器调节使辊压密封机构挤压转动在密封板外进行外密封；驱动辊压密封机构的密封配合加工件往复添加进行驱动；加工件在真空仓内完成加工后取出，复位辊压密封机构、调节密封机构和辊压调节器；本发明的有益效果为在运输相对应的不同样式的工件时会存在空间不匹配负压泄露的情况。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117588567A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311848345.8F16F15/067(2006.01)
(22)申请日2023.12
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