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一种微型耐高温光纤法珀振动传感器,包括耐高温外壳,耐高温外壳内布置有基底反射部和振动敏感部,基底反射部包括固定基底和由固定基底的上侧面贯穿至竖直侧面的弧形光波导,弧形光波导内设置有用于温度漂移补偿的光纤布拉格光栅结构;振动敏感部包括布置在固定基底上方的十字悬臂梁,支撑十字悬臂梁的支撑结构和布置于十字悬臂梁中心下部的质量块;质量块的下端面和弧形光波导的上端面均镀有反射膜,形成法珀腔;其中,固定基底、支撑结构、十字悬臂梁和质量块均为二氧化硅材质,弧形光波导为耐高温石英材质。该光纤法珀振动传感器具有结
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113624328A
(43)申请公布日2021.11.09
(21)申请号202111094097.3
(22)申请日2021.09.17
(71)申请人西华师范大学
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