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本发明公开了一种基于光栅光阀角色散补偿的飞秒激光扫描刻写装置及方法,该装置按光前进方向依次包括飞秒激光光源、第一柱面透镜、第二柱面透镜、偏振分束棱镜、光栅光阀、透镜、四分之一波片、反射镜、套筒透镜、物镜和位移台,将飞秒激光一维扩束成线光场进行激光扫描直写,并通过光栅光阀对飞秒线形光斑各子区域强度独立调控,产生任意强度分布的飞秒激光线光场,结合位移台的扫描,进行快速的线光场扫描刻写;由于光栅光阀具有衍射光栅属性,飞秒激光入射后会产生角色散,通过引入角色散补偿模块使出射光栅光阀后发散的飞秒激光不同波
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117590703A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311555302.0
(22)申请日2023.11.21
(71)申请人之江实验室
地址311121
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