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本发明公开了一种电镀装置及电镀方法。所述电镀装置包括槽体、承载单元与阳极单元。槽体储存电镀液。承载单元能活动地悬设于槽体中,承载单元承载待镀物。阳极单元能转动地位于槽体。其中,阳极单元受控制地进行摆动动作,以扰动电镀液,而使电镀液持续地于待镀物的表面流动。本发明的电镀装置及电镀方法能提升电镀的效率与质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110438538A
(43)申请公布日
2019.11.12
(21)申请号20191
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