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本申请属于靶材生产技术领域,公开了一种锌镁氧材料的制备方法,该方法先将氧化镁粉末和氧化锌粉末在混料机中混合,得到粉体,且氧化镁粉末与氧化锌粉末的质量比为1~15:85~99,再将PVA、纯水和粉体混合,得到混合料,其中PVA、纯水和粉体的质量比为1~3:3~5:92~96;随后将混合料球磨、烘干,得到烘干料;再将烘干料装入管式气氛炉中,以3~5℃/min的升温速率,升温到200℃,再以0.5~1℃/min,升温到500~600℃,保温3.5~5h,然后以3~5℃/min,升温到900~1000℃
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117567147A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311327411.7C23C14/08(2006.01)
(22)申请日2023.10.
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