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本实用新型提供一种抑制了翘曲的发生的、具有腔体的硅基板以及使用了该硅基板的腔体SOI基板。具有腔体的硅基板具有:第1面,具有腔体;以及第2面,与所述第1面对置,所述硅基板具有:第1硅氧化膜,设置在第1面,厚度为d1;第2硅氧化膜,设置在腔体的底面,厚度为d2;以及第3硅氧化膜,设置在第2面,厚度为d3,关于厚度d1、d2、d3,满足d1≤d3且d1<d2的第1关系式、或d3<d1且d2<d1的第2关系式中的任一者,所述第1硅氧化膜、第2硅氧化膜以及第3硅氧化膜为热氧化膜。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220502678U
(45)授权公告日2024.02.20
(21)申请号201990001279.1(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任
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