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本发明提供一种膜片半导体构件(100),所述膜片半导体构件(100)具有外部区域(92)和膜区域(91),其中,有源层(14‑17)在膜区域内使膜成形。衬底(61)的至少一部分布置在所述外部区域(92)内。所述衬底(61)如此结构化,使得在所述衬底(61)的所述膜区域(91)内设置后侧腔(51),所述后侧腔(51)暴露在膜片的后侧。所述后侧腔(51)没有衬底(61)。至少一个有源区域布置在所述膜区域(91)内,并且有源区域具有至少一个PN结。用于分离膜半导体构件的所述目标分开点(98)具有在所述
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117581379A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202280045715.1(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司
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