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本发明了提供一种12英寸硅片碱腐蚀的方法，包括依次执行清洗机械手、超声波溢流清洗、轻碱腐蚀、热水漂洗、碱腐蚀、热水漂洗、SC2药液、漂洗、混酸药液、漂洗、溢流、慢拉、烘干的十三个工序步骤。本发明的方法强化了金属清洗，两个碱槽用螯合的方法，两个酸槽用反应的方法；还设计了浓度控制，可以有效控制腐蚀速率的差异；设计了来料大颗粒清洗，解决了万级设备与千级对接的问题，避免了抛光因为来料大颗粒造成的划伤；最终硅片在同一个换液周期不同批次之间去除量波动≤0.2µm；不同换液周期之间去除量波动≤0.2µm；中央
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117577511A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202210941282.X
(22)申请日2022.08.08
(71)申请人万华化学集团电子材料有限公司
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