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本发明属于背接触电池技术领域,具体涉及一种具有特定正面钝化结构的背接触电池及其制备方法和应用,背接触电池包括具有正面和背面的硅片,在硅片背面分别设置的第一半导体层和第二半导体层,在硅片正面向外依次设置的第三半导体层和减反层,所述第三半导体层包含向外依次设置的第一本征氢化非晶硅层、本征掺氧微晶硅层,所述减反层包含向外依次设置的掺磷氮化硅层、无掺磷氮化硅层以及氧化层。本发明背接触电池能够在保证正面钝化效果的同时,减少板式PECVD一个腔室的投入,从而减少了设备的投入,简化了工艺流程,并在降低制作成本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117577697A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202410057836.9
(22)申请日2024.01.16
(71)申请人金阳(泉州)新能源科技有限公司
地
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