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2024-02-21 发布于四川
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尾气管路及具有其的尾气回收装置.pdf

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本申请涉及一种尾气管路及具有其的尾气回收装置，应用于多晶硅生产工艺后的尾气处理，其包括管路主路、控制组件和清理组件，控制组件包括计量结构和调节结构；清理组件包括加压管路和清理机构，清理机构用于拂扫管路主路内壁上沉积的固体颗粒物。通过控制组件中计量结构的设置掌控进入尾气管路的尾气量，进而判断固体颗粒物的大致数量，再通过清理组件的清理机构进行拂扫，以及加压管路的加压，使得尾气的流动速度增加，进而降低了尾气中含有的固体颗粒物堆积的情况。本申请有效地解决了现有技术中多晶硅生产出现的尾气中含有硅粉或水解物

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117570370A

(43)申请公布日2024.02.20

(21)申请号202311545537.1B01D36/00(2006.01)

(22)申请日2023.11.

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