电子级八氟环丁烷.pdf

ICS71.100.20

G86

团体标准

T/CCGA30004—2019

电子级八氟环丁烷

Electronicgradeperfluorocyclobutane

（征求意见稿）

2019-xx-xx发布2019-xx-xx实施

中国工业气体工业协会发布

T/CCGA30004—2019

电子级八氟环丁烷

1范围

本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、

运输、贮存等。

本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电

子行业蚀刻气体。

分子式：CF。

48

相对分子量：200.031(按2005年国际相对原子质量)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5099钢质无缝气瓶

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T9722化学试剂气相色谱法通则

GB/T11640铝合金无缝气瓶

GB/T13004钢质无缝气瓶定期检验与评定

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB/T14601-2009电子工业用气体氨

TSGR0006气瓶安全技术监察规程

3技术要求

电子级八氟环丁烷产品的质量应符合表1的要求。

表1电子级八氟环丁烷产品技术指标

项目电子级八氟环丁烷

八氟环丁烷（CF）纯度（体积分数）/10-2≥99.99999.9995

48

氧（O）含量（体积分数）/10-6＜1.00.5

2

氮（N）含量（体积分数）/10-6＜2.01.0

2

一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6＜0.50.5

二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6＜0.50.5

2

烃（C～C）含量（体积分数）/10-6＜1.00.5

15

其他碳氟化合物含量（CF/CF）（体积分数）/10-6