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而这个实验中我们用到的真空镀膜系统如下图所示,这个系统包括了得到真
空和镀膜两个部分。
3、真空的测量
测量真空度的装置称为真空计,常用的有热偶真空计和电离真空计,前者用
来测量低真空,后者测量高真空。因此常常把两者复合起来组成复合真空计
来使用。本实验适用的也是复合真空计。
4、蒸发镀膜
蒸发镀膜就是在真空中通过电流加热、轰击加热和激光加热等方法,
使薄膜材料蒸发称为原子或分子,他们随即以较大的自由程度作直线
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