光栅传感器工作原理.docxVIP

光栅测量系统

丄数字信号検测系统的组成

?數字信号絵删糸折的鎮成

度射W为光柵米教，也怒光栅柵距。V

度射

W为光柵米教，也怒光栅柵距。

V

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计量光柵＜ 「?役向先栅

」?團光概用于角度测量T?切向光伽L?林形光概

丄数字信号检测系统的组成

?光栅救字丸傳感專

光栅是由不少等节距的逸光的缱隙魏不通光的刻

线均力.栢问罗列而成的无电器件’一|_用

七 )

V

25齿50iVmm

i光栅的分类

广?构理光栅利冽光的衍渤现象「主要用于光谱分

楮用逢分」 析?先次长阔量。

?紐-我醐1利用莫余条赦现象’主要用于长度.

, 角度,速度、加速度,振劫等轴理董

的测量。

■ 「?长光械用于长度测量

r閣愛射瓦光粉

挨光的走向T

L■戻圳丸先糠 「日里也先蛆f幡儘光栩丿

挨栅纔的彩式」

Lh河遂光捣（相住光陆丿

i光栅俺感器的结构和工作原理

，光栅传感器的结构

?长光霸…直巍住祥彳圓光械—角位祁

构成:

标尺光搦，定光栅—劫光栅

?长度…洌量危曲；?剣线唐度…测量格度

(10.25,50.100、125却min)

i光栅佬感器的结构和工作原理

盘光柵传感器的结构

光栅传感器的结构和工作原理

盘光栅传感器的结构

制技运翊形式分：

直統型一主光栅为立尺形―立线莎动旋桔型…主光棚为圆盘形—親转既动

亀羅光学形为分：

逾期乱一走谏与光电走件在两倘一遗射羌戻射就一先嫌与光也元件闻一惻—反射羌

■光栅传感器的结构和工作原理

@光栅传感器的工作原理

至；tit丄莫尔条纹（Mnire）

至；tit

W-極距，ii-蛭寛.J亳贫

W=a+b.a-b=W/2

丄莫尔条纹（Mnire）的特性

鮮方向柱：毒亘于角羊分巍，岁夹角彳艮小时

尋同歩柱:T与光栅挪移方向毒直光柵挪移一个栅范

尋同歩柱:

—英尔辭吹挪移一个间距一*方向对应

关角釦艮小

-*B?W

一光学放大

,可调做:-*糙高灵歡戻

,可调做:

夹角毋

―?齢絨河距_BT―昊活大量刻緩

一谟爰平均赦应

一克膈个制/冏榔误菱一提蒿籍度

i光栅传感器的结构和工作原理

a光栅传感器的工作原理

湖

脉物通过充榭

脉

作住移元神转移

作住移

絞彼測幼钵隹档二梅距又咪冲放

i光栅传感器的结构和工作原理

A光栅传感器的工作原理

翠光镜

光电无（1

I光栅传感器的结构和工作原理导光

I光栅传感器的结构和工作原理

导光柵传感器的工作原理

光楓巧感嚴特

A精度糸：

丽长土很羽XlO^L^un.

甥角土蹄

，量程大；

11射式一光梅尺技r度射式T--几十养

，的成焕:

可用于动志测量

増星吗刪星一，计敷

斯也?数据芮失

I妻求有:

对环场妄京葛虽廈、淀嵐、A4;.投动、獰5度

A藏本為I

也路复杂

［光栅传感器的测■电路

卷字信号

正弦（金推）信号

smI光栅传感器的测■电路?搶号的弔成与触膳IIIIIIII叫呼4

sm

I光栅传感器的测■电路

?搶号的弔成与触膳

IIIIIIII

叫呼4I件牌、奂帝十2/4-W:

I光栅传感器的测■电路

?搶号的弔成与触膳

福石毛拇

Kin.v

得为資个吞号sin.v

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—COS.V

1光栅传感器的测■电畦

?指号的形成，与料曜

余弦是办什号

得到一时梢佳枸妾三的正吏差孙仙号

?光柵传感器的測■电路

?仙号放火

4光柵传感器的測■电路

一时正良核榜希号：虬府*

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可电枚卷大小的伟鳥色舍衣信号的枸但中F

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土光栅传感器的测量电路

?电駆残妊分电路

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斗光柵传感器的测量电路

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?光柵传感器的测量电路

正弦指号運辻也压叱菽器，疊形为同周期的方或者称号耳

上光柵传感器的测量电路

?jl細糸电珞信号吐理过程

上光柵传感器的测量电路

?jl細糸电珞信号吐理过程

信号和钱每变化72’就产生一个斜的方魄.所以符到5伟频「鈿办J。

4光柵传感器的测■电路

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斗光柵传感器的測■电路

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