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本发明提供了一种超精密三坐标测试平台,包括:基座和支承件连接件,支承件连接件上安装有方形平板真空预压气浮支承件;支承件连接件由X向直线电机驱动;固定在支承件连接件顶部的第一Z向立柱及安装在一侧的第二Z向立柱,第二Z向立柱的底部安装有圆形平板真空预压气浮支承件;Z向立柱上安装有Z向直线电机,第一真空预压气浮组件与Z向直线电机连接;龙门横梁固定在两个第一真空预压气浮组件之间,Y向直线电机安装在龙门横梁上并与第二真空预压气浮组件连接。本超精密三坐标测试平台,采用真空预压气浮技术实现检测平台在X、Y、Z
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108592839A
(43)申请公布日
2018.09.28
(21)申请号20181
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