原创力文档- 1、本文档共7页，其中可免费阅读6页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及碳化硅晶圆技术领域，且公开了一种碳化硅晶圆研磨抛光工艺，包含以下步骤：S1首先，将碳化硅晶圆放入专用的清洗设备中，使用去离子水和酒精进行清洗，去除表面的灰尘和杂质。该碳化硅晶圆研磨抛光工艺，通过超声波清洗机利用超声波的物理特性，使清洗液中的气体和微小颗粒产生震动，从而将它们从清洗液中分离出来，这个过程是通过高频振动产生超声波，将清洗液中的微小气泡迅速破裂，产生强烈的冲击波来实现的，这种冲击波能够将碳化硅晶圆表面的污垢、油脂、尘埃等杂质剥离下来，从而达到清洗的目的，超声波清洗的原理是利用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117549184A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311511693.6B08B3/12(2006.01)
(22)申请日2023.11.1
文档评论（0）