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一种细长管道内壁同步清洗镀膜装置及其使用方法,它属于表面处理领域。它解决了现有细长管道内镀膜涂层均匀性差,污染物难以排出的问题。装置:包括电源Ⅰ、进水管Ⅰ、进气管Ⅰ、出水管Ⅰ、法兰Ⅰ、真空室、进气孔Ⅰ、卡具Ⅰ、靶Ⅰ、导轨、滑块、控制器、往复电机、待镀管、抽气口、靶Ⅱ、卡具Ⅱ、进气孔Ⅱ、法兰Ⅱ、出水管Ⅱ、进气管Ⅱ、进水管Ⅱ和电源Ⅱ。本发明装置采用相邻的两个柱状短靶同时进行细长管道内清洗和镀膜,保证了镀膜区域的清洁性和基体表面活性;保证了沉积膜层的均匀性,并避免了能够移动的装置与待镀管内壁的接触污染
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117551969A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311625370.XC23C14/54(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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