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本发明涉及一种氮化镓功率晶体管(100),包括:氮化镓缓冲层(110),其包括顶表面和底表面,氮化镓缓冲层包括在顶表面处的第一区域(101)、第二区域(102)和第三区域(103);氮化铝镓势垒层(112),其沉积在氮化镓缓冲层的顶表面处;发射极接触,其在氮化铝镓缓冲层的第一区域上方在与氮化镓缓冲层在氮化铝镓缓冲层的界面处形成;第一p型掺杂氮化镓层(113),其沉积在氮化镓缓冲层的第二区域上方的氮化铝镓势垒层处,第一p型掺杂氮化镓层形成氮化镓功率晶体管的栅极接触;以及第二p型掺杂氮化镓层(114
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117561607A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202180099908.0
(22)申请日2021.12.16
(85)PCT国际申请进入国家阶段
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