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本发明公开了一种坩埚清洗系统及坩埚清洗方法,坩埚清洗系统包括传输装置、多个坩埚托、破碎装置、隧道炉和第一吸尘吹扫装置,传输装置具有沿循环回路运动的传输带,坩埚托沿传输带的纵向排布并与传输带固定连接,坩埚托设置有用于放置坩埚的坩埚暂存位和用于放置坩埚盖的坩埚盖暂存位。破碎装置位于循环回路,用于破碎坩埚内的残留物。隧道炉位于循环回路上破碎装置的下游,具有供传输带穿过的隧道。第一吸尘吹扫装置位于循环回路上破碎装置的下游、隧道炉的上游。本发明提供的坩埚清洗系统能够显著提高清洗效率,避免了人工清洗坩埚带来
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117548452A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311724771.0B08B9/38(2006.01)
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