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ChemicalSupplySystem
化学品供应系统简介
课程大纲
•系统之目的
•化学品之种类与用途
•系统之基本要求
•化学品供应质量要求
•系统之流程图
•CDU之流程图
•TEE-BOX之构造
•VMB之构造
•SAMPLINGBOX之构造
•系统设备之材料要求
•运转操作注意事项
系统之目的
•供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂
质、微粒子
•供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案
•供应高纯度化学品以显影芯片图案
•供应高纯度化学品以为化学气相沉积
前置反应物
•供应高纯度化学品以研磨芯片
•供应高纯度化学品以清洗制程设备零
配件
化学品之种类与用途(一)
•酸性:
–腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4...
–毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...
•碱性:NH4OH,KOH,Developer...
•有机溶剂
–易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液...
–腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS...
•氧化性:HNO3,H2O2...
CHEMICALPROPERTY
序号化学品名备注危害性
1H2SO496%硫酸腐蚀性，致癌，灼伤，失明等危害
2HF49%氢氟酸腐蚀及毒性，灼伤，血液缺钙，失明和致命
3BOE10:1HF+NH4F腐蚀及毒性，灼伤，血液缺钙，失明和致命
4BOE200:1HF+NH4F腐蚀及毒性，灼伤，血液缺钙，失明和致命
5H3PO485%磷酸腐蚀性，灼伤等人体危害
6硝酸氢氟酸腐蚀性及有毒物质，灼伤及肺水肿
HNO3/HF6:1/
7HCL36%36%盐酸腐蚀性，失明，灼伤及死亡等人体危害
8BOE130:1:7HF+NH4F腐蚀及毒性，灼伤，血液缺钙，失明和致命
9H2O231%双氧水腐蚀性及氧化性，导致慢性病，眼疾及皮肤病
10A515(KTD-1)环戊酮易燃，腐蚀，灼伤及全盲
11DEV-1(KTD-1)显影液易燃，腐蚀，灼伤及全盲
12NH4OH29%29%氨水腐蚀，灼伤，呕吐，腹泻
13NMPN-甲基环丙酸酮易燃，灼伤，刺激性
14EBRTHINNER乙酸丙二醇单甲基醚酯易燃，腐蚀，全盲及长期影响肝
15IPA99.9%异丙醇易燃，灼伤，呕吐，失去意识及昏迷
16EKC-270邻苯二酚；二甘醇胺易燃，灼伤，刺激性
17C260C2H6OS易燃，灼伤，刺激性
18腐蚀及毒性，灼伤，血液缺钙，失明和致命
M2CH3COOH+H3PO4+HNO3
化学品之种类与用途(二)
NO名称成分比例用途REMARK
1光阻去除剂EKC-265
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