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本发明提供的一种非均匀介质波导横截面电磁场分布的确定方法及系统，所述确定方法包括：步骤S1：对波导结构横截面用三角形面元进行三角形面元网格剖分；步骤S2：循环遍历所述三角形面元，分别建立切向插值矢量基函数和标量基函数；步骤S3：构建基于矢量势和标量势的电场和磁场有限元方程的本征值问题；步骤S4：求解所述本征值问题得到特征值和特征向量；步骤S5：对所述本征值问题选择特征值及对应的特征向量来构建波导结构截面的场分布。提供一种电磁场有限元求解器波导结构横截面电磁场分布确定刚度矩阵零空间的方法，准确获得
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117540612A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311816211.8
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人芯和半导体科技（上海）股份有限公
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