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本实用新型公开了一种上料装置以及真空镀膜设备，其中上料装置包括：顶杆以及驱动机构。顶杆包括推杆以及支撑件，推杆与支撑件为分体式结构，支撑件连接于推杆，用于承载靶材，推杆由耐高温高强度的材料制成，支撑件为耐高温绝缘结构，驱动机构连接于推杆，用于驱动顶杆移动，以输送靶材。由于支撑件为耐高温绝缘材料制成，使得顶杆能够与靶材绝缘。由于推杆由耐高温高强度材料制成，使得推杆在安装过程中安装不易损坏。因此，顶杆中的支撑件与推杆根据不同的使用要求选用不同的材料制成，而无需采用同种材料加工形成一体式结构。以使顶杆
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220468115U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321760889.4
(22)申请日2023.07.06
(73)专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份
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